发布日期：2026-02-14 12:07    点击次数：91

国度学问产权局信息默契，无锡芯卓湖光半导体有限公司央求一项名为“半导体器件的刻蚀圭臬和半导体器件”的专利，公开号CN121510876A，央求日历为2025年11月。

专利摘要默契，本央求公开了一种半导体器件的刻蚀圭臬和半导体器件，属于半导体制造技艺领域。所述圭臬包括：提供具有侧墙结构的基底；对侧墙结构进行第一阶段刻蚀，造成第一中间结构；对第一中间结构的侧墙结构进行第二阶段刻蚀，造成第二中间结构；其中，第二刻蚀气源的氢元素与氟元素的摩尔比大于第一刻蚀气源的氢元素与氟元素的摩尔比；第二刻蚀功率大于第一刻蚀功率；第二刻蚀压力大于第一刻蚀压力；第二刻蚀温度小于第一刻蚀温度。该圭臬通过对多项工艺参数的复合调控，不错灵验减小微沟槽的造成概率，从而普及半导体器件的电学性能和可靠性。

天眼查贵寓默契，开云体育无锡芯卓湖光半导体有限公司，建造于2023年，位于无锡市，是一家以从事诡计机、通讯和其他电子开垦制造业为主的企业。企业注册老本10000万东说念主民币。通过天眼查大数据分析，无锡芯卓湖光半导体有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标形势7次，专利信息60条，此外企业还领有行政许可20个。

声明：市集有风险，投资需严慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不组成个东说念主投资淡薄。

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本文源自：市集资讯

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